?半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理工藝：

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依據(jù)生產(chǎn)特征和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，考慮到安全系數(shù)難題，一般建議使用活性碳吸附脫附催化燃燒裝置工藝，廢氣經(jīng)活性碳吸附脫附催化燃燒裝置處理后，使廢氣里的VOC氧化分解變成無害CO2和H2O，終達(dá)到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

活性碳吸附脫附催化燃燒裝置工藝流程是運(yùn)用活性碳吸咐廢氣里的VOC，當(dāng)活性碳吸咐飽和后，引進(jìn)熱風(fēng)開展持續(xù)高溫反吹脫附，脫附出的高濃度精煉廢氣開展催化燃燒裝置解決，終被溶解。根據(jù)吸咐精煉方式，再加上運(yùn)用催化氧化技術(shù)性去掉有機(jī)污染物。再通過調(diào)節(jié)環(huán)境溫度，留置時間，擾流廢氣在燃燒室內(nèi)轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水氣，高效率提升了有機(jī)物去除率，標(biāo)準(zhǔn)為環(huán)保節(jié)能平穩(wěn)達(dá)到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

實(shí)際還需要根據(jù)客戶本身具體情況選擇合適半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣處理設(shè)備解決方法，保證因地制宜。一般給予量身定做符合企業(yè)自身實(shí)惠解決方法。降價投資成本。

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理設(shè)備特性：

1、催化燃燒法，在工業(yè)上用主要是解決高濃度VOCs的廢氣，改方式的凈化高，無污染，控制利便，安全系數(shù)好其體積小。

2、安全性設(shè)施齊全:防火除塵器、排氣孔、過熱報警等防護(hù)設(shè)施。

3、余熱回收利用:余熱可回到干躁路徑開展干躁，降低原干躁路徑的功率損耗;也可以作為工廠其他一些方面熱源(如浴室、散熱器等)。